GMP凈化車(chē)間


                      發(fā)布時(shí)間:2021-01-20 10:11:08

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                      GMP凈化車(chē)間


                       
                      一.概述
                      GMP凈化車(chē)間在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學(xué)科。凈化工程公司所特別設計的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
                      二.GMP凈化車(chē)間的溫濕度控制
                      GMP凈化車(chē)間的溫濕度主要是根據工藝要求來(lái)確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著(zhù)空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細,所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝 光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
                      濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì )結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著(zhù)的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
                      三.要求
                      1、在建設無(wú)塵潔凈廠(chǎng)房時(shí)候,建筑平面和空間布局應具有適當的靈活性,潔凈區的主體結構不宜采用內墻承重。
                      2、無(wú)塵潔凈廠(chǎng)房主體結構的耐久性應與室內裝備、裝修水平協(xié)調,并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。
                      3、潔凈廠(chǎng)房的潔凈區內設置技術(shù)夾層或技術(shù)夾道,用以布置風(fēng)管和各種管線(xiàn)。
                      4、無(wú)塵潔凈廠(chǎng)房的潔凈區內通道應有適當寬度,以利于物料運輸、設備安裝、檢修等。
                      5、潔凈廠(chǎng)房工程應按《建筑設計防火規范》的要求調協(xié)安全出口,滿(mǎn)足人員疏散距離要求。
                      6、放射性藥品生產(chǎn)廠(chǎng)房應符合關(guān)于輻射防護的有關(guān)規定。
                      7、潔凈廠(chǎng)房室內裝修應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。
                      8、無(wú)塵潔凈室墻壁和頂棚的表面應無(wú)裂縫、光潔、平整、不起灰、不落塵土、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、避免眩光(如采用瓷釉漆涂層墻面和金屬隔熱夾芯板),陰陽(yáng)角均宜做成圓角,以減少灰塵積聚和便于清潔。
                      9、無(wú)塵潔凈室地面要求整體性好,平整、無(wú)縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐撞擊、不易積靜電、易除塵清洗(如采用環(huán)氧自流平整地坪或現澆水磨石地面)。
                      10、潔凈室的門(mén)窗造型要簡(jiǎn)單、平整、不易積塵、易于清洗,密封性能好。門(mén)窗不應采用木質(zhì)等引起微生物繁殖的材料,以免生霉或變形。門(mén)窗與內墻宜平整,不應設門(mén)檻,不留窗臺。潔凈室內的門(mén)寬度應能滿(mǎn)足一般設備安裝、修理、更換的需要。氣閘室、貨淋室的出入門(mén)應有不能同時(shí)打開(kāi)的措施。
                      11、潔凈廠(chǎng)房每層高度應滿(mǎn)足潔凈室操作面凈高和技術(shù)夾層布置管線(xiàn)要求的凈空高度。
                      12、潔凈廠(chǎng)房工程需在技術(shù)夾層內更換高效過(guò)濾器的技術(shù)夾層墻面、頂棚宜刷涂料飾面。
                      13、送風(fēng)道、回風(fēng)道、回風(fēng)地溝的表面裝修應與整個(gè)送、回風(fēng)系統相適應,并易于除塵。
                      14、潔凈廠(chǎng)房應有防止昆蟲(chóng)和其他動(dòng)物進(jìn)入的措施。
                      15、無(wú)塵潔凈室安裝的水池、地漏不得對產(chǎn)品生產(chǎn)產(chǎn)生污染。

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